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Interféromètre 200mm

Interféromètre qui permet de mesurer les paramètres de planéité et de parallélisme (bow, warp, TTV…) de tranches jusqu’à 200 mm avec une précision de 50 nm. Il accepte des tranches transparentes ou opaques, polies ou non, jusqu’à plusieurs mm d’épaisseur

Métrologie de surface Altimet 520

Microscope optique

Interféromètre 200mm

La caractérisation chez Cristal innov

Ce microscope optique permet une variété d’observations grâce à un équipement très complet.

• Caméra pour des sorties sur PC

• Objectifs x5, x20, x100 (grossissement maximum : 1000)

• Lumière transmise et lumière réfléchie

• Polariseur et analyseur, en transmission et en réflexion

• Platine avec translations

• Contraste interférentiel

• Fond clair / fond noir

Interféromètre qui permet de mesurer les paramètres de planéité et de parallélisme (bow, warp, TTV…) de tranches jusqu’à 200 mm avec une précision de 50 nm. Il accepte des tranches transparentes ou opaques, polies ou non, jusqu’à plusieurs mm d’épaisseur

Microscope optique

Métrologie de surface - Altimet 520

L'Altisurf 520 est une plateforme de métrologie de surface polyvalente et modulaire. Cristal Innov l'a équipé d'une sonde confocale chromatique ayant une résolution verticale de 12 nm, d'une sonde interférométrique dédiée à la mesure de rugosité de surfaces polies et d'un capteur mécanique microforce.

L'Altisurf 520 peut accueillir une grande variété de capteurs pour mesurer la géométrie et la rugosité de la surface d'échantillons variés en forme et en dimensions.